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S3000N关机后真空抽不上去

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们公司有一台日立的S3000N,每次关机后,真空经常会抽到170Pa,140Pa就不动了,或者在10Pa和25Pa之间切来切去,只有通过调电路板的可变电阻后,再关机,真空才有可能抽上去。所以现在我们都不敢关机。
    请问各位有没有解决的办法?
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  • 小M

    第1楼2012/08/22

    应助达人

    真空值这么低?

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  • asahi42

    第3楼2012/08/29

    S-3000N的机器真的很老了,所以板子难免有这样或那样的问题。如果不关机就能解决的话,就让它开着,TMP保持运转对镜筒也是好的。

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  • kmyxyyy

    第4楼2012/09/09

    s-3000n,但愿别出问题。

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  • 深圳仪器设备

    第5楼2020/09/07

    我们有一套日立电镜 S-3000N,电脑系统被格式化了,也没有安装光盘,要怎么解决这个问题?微 R406667803

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