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蔡司EVO HD的Beamsleeve技术

  • fengyinqiao
    2012/11/09
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 蔡司EVO HD型号的SEM的BeamSleeve技术,是为了减小WD,跟直接升高样品台减小WD有什么区别呢?
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  • asahi42

    第1楼2012/11/09

    我说,LZ您多少也展示一下TESCAN的技术和结果吧?即使作为等价交换也行啊,否则,Zeiss哪有这么回答的义务啊?

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  • 小M

    第2楼2012/11/10

    应助达人

    不懂,看看有没有高手出现

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  • fengyonghe

    第3楼2012/11/11

    fengyinqiao(fengyinqiao) 发表:蔡司EVO HD型号的SEM的BeamSleeve技术,是为了减小WD,跟直接升高样品台减小WD有什么区别呢?

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  • fengyinqiao

    第4楼2012/11/12

    我刚开始搞电镜,TESCAN的我也是是懂非懂,其实我看了几家公司在网站上的仪器资料,功能基本上都是大同小异,就是各自有各自的称之为专利的东西,TESCAN电镜钨灯丝的卖的比较多,减速模式的场发射以及FIB-SEM我也没用过。

    asahi42(asahi42) 发表:我说,LZ您多少也展示一下TESCAN的技术和结果吧?即使作为等价交换也行啊,否则,Zeiss哪有这么回答的义务啊?

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  • fengyinqiao

    第5楼2012/11/12

    道理是这个道理,但是TESCAN的低真空也可以通过升高样品台来缩短工作距离(低到1mm,当然这个距离不建议客户使用,客户使用过程中最小为3mm),从而提高分辨率,样品室的真空度也差不多,TESCAN的低真空到150Pa,到500Pa的话需要在极靴下面插入75um的光阑。同样是缩短工作距离,有什么不同的地方呢?隔断样品室的低真空与Column的高真空,是在极靴下面加了个装置吗?

    谢谢!

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:

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  • fengyinqiao

    第6楼2012/11/12

    当然,技术共享嘛,反正都是老外的东西。

    你要是对TESCAN的仪器有什么疑问,我也会跟大家分享的!

    asahi42(asahi42) 发表:我说,LZ您多少也展示一下TESCAN的技术和结果吧?即使作为等价交换也行啊,否则,Zeiss哪有这么回答的义务啊?

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  • fengyinqiao

    第7楼2012/11/12

    我这里说的是钨灯丝SEM,场发射另当别论!

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