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【讨论】气动锁阀门

  • captainsun
    2012/12/18
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 大家好。扫描电子显微镜上的那个气动锁阀门有什么用处?
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  • 第1楼2012/12/18

    是冲氮气的那个吧?这个我知道是用来保持正压的

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  • asahi42

    第2楼2012/12/18

    应该是枪阀,是用来隔开样品仓和镜筒(电子枪)的,一般Beam On的时候阀门才打开,Beam Off阀门即关闭。场发射里面才有,钨灯丝里面用不上。

    气动锁的好处就是即使突然停电,也可以有足够的气压关闭阀门,避免镜筒和电子枪掉真空。

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  • cvbs11

    第3楼2012/12/23

    楼主说的是CIV吗?如果是CIV的话,是用来隔绝样品室和电子枪的真空的

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  • xx2882xx

    第4楼2012/12/24

    气动阀门原来是做这个的啊,我又进步了,啊哈哈

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  • 小M

    第5楼2012/12/25

    应助达人

    正好前段时间听说了

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