扫描电镜(SEM/EDS)
第1楼2012/12/18
是冲氮气的那个吧?这个我知道是用来保持正压的
asahi42
第2楼2012/12/18
应该是枪阀,是用来隔开样品仓和镜筒(电子枪)的,一般Beam On的时候阀门才打开,Beam Off阀门即关闭。场发射里面才有,钨灯丝里面用不上。气动锁的好处就是即使突然停电,也可以有足够的气压关闭阀门,避免镜筒和电子枪掉真空。
cvbs11
第3楼2012/12/23
楼主说的是CIV吗?如果是CIV的话,是用来隔绝样品室和电子枪的真空的
xx2882xx
第4楼2012/12/24
气动阀门原来是做这个的啊,我又进步了,啊哈哈
小M
第5楼2012/12/25
正好前段时间听说了
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