其他仪器综合讨论
第1楼2003/10/11
单探针扩展电阻法可以确定体积为10-10厘米3区域的电阻率，分辨率可以达到1微米。这种方法是利用一根金属锇（或钨钴合金）尖的探针来测量样品表面的电阻率。要求探针材料具有硬度大和耐磨的性能。（详情请见《半导体测试技术》孙以材 冶金工业出版社）
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