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扫面电镜使用过程中遇到图像漂移的现象

gegeyc88

2013/05/28

扫描电镜（SEM/EDS）

各位老师:

大家好，如题，有时候在测试的时候遇到图像漂移的现象，排除样品的导电性的问题，用的是背散射探头，大家来说说可能的原因。

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另一半是孩子

第1楼2013/05/28

样品台精度不够

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gegeyc88

第2楼2013/05/28

能不能具体说明下~~
另一半是孩子(v2685631) 发表:样品台精度不够

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kfcontrol

第3楼2013/05/28

虽然你说排除样品导电性的问题，我还是分享一个我的经历吧。。。拍13nm的金颗粒在硅片上，发现图像飘逸的很厉害，感觉就像下雪一样，同学指出“金”肯定导电性能好，为什么还会飘逸呢！然后我们在硅片周围用铜胶带搭桥到样品台上发现。。。图像飘逸减轻很多，甚至没有。。。所以感觉图像要是飘逸，排除机器毛病，还是感觉是导电性的问题

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分
该帖子已被版主-gegeyc88加2积分，加2经验;加分理由:实践是检验真理的标准

fengyonghe

第4楼2013/05/28

只看载物台也漂移才能说明是载物台机械加工精度不够造成的漂移。载物台还有一根接地线要确保接牢。

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gegeyc88

第5楼2013/05/28

怎么样校正样品台呢？
fengyonghe(fengyonghe) 发表:只看载物台也漂移才能说明是载物台机械加工精度不够造成的漂移。载物台还有一根接地线要确保接牢。

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gegeyc88

第6楼2013/05/28

下次再试试。
kfcontrol(kfcontrol) 发表:虽然你说排除样品导电性的问题，我还是分享一个我的经历吧。。。拍13nm的金颗粒在硅片上，发现图像飘逸的很厉害，感觉就像下雪一样，同学指出“金”肯定导电性能好，为什么还会飘逸呢！然后我们在硅片周围用铜胶带搭桥到样品台上发现。。。图像飘逸减轻很多，甚至没有。。。所以感觉图像要是飘逸，排除机器毛病，还是感觉是导电性的问题

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龙吟小魔鬼童鞋

第7楼2013/05/29

学习中，希望楼主可以试试

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分
该帖子已被版主-gegeyc88加1积分，加2经验;加分理由:欢迎新人~~，希望再接再厉！！

小M

第8楼2013/05/29

应助达人

样品固定原因；导电性；导电通路（连接）

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好强

第9楼2013/06/05

可能是用的导电胶的原因

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gegeyc88

第10楼2013/06/05

一般用的都是碳导电胶，但个人觉得这个导电胶不是很好~用万用表测都不导电的。
好强(v2730878) 发表:可能是用的导电胶的原因

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