想问问关于离子泵方面的注意事项。。。求帮助解答

因为离子泵需要在稀薄空气浓度(高真空)下才能开始工作，高浓度的空气(低真空)可能造成离子泵频繁打火而烧坏。Bypass阀打开的话，是用TMP直接先抽镜筒和电子枪，此时离子泵是停的。抽到低浓度(高真空)后，再开启离子泵。这对因为掉真空而造成的离子泵停机是一个很好的保护性恢复过程。工程师是对的。不过LZ的离子泵应该不至于那么快就烧坏…

谢谢你的回答！ 早上大概让我烘烤了一个小时左右，冷却了2个小时，现在真空抽到9.6--e-6pa。。。ps：他说如果能达到-6pa就说离子泵应该问题不大。。。但是不知道，什么时候才能抽到-8pa。。。如果达不到，是不是应该在好好烘烤一下。。。

这个。。。还是维修工程师说了算吧~

恩，刚才正好接到电话，让我烘烤15个小时，冷却3个小时。。。可能是考虑到明天早上9点上班的原因吧选用了user烘烤模式。。。不过他提到，要把scan speed 调到等于1，operater model为normal 模式，然后点击freeze 这个就不太懂了。。。老师，你知道吗，求解惑。。。

恩，刚才正好接到电话，让我烘烤15个小时，冷却3个小时。。。可能是考虑到明天早上9点上班的原因吧选用了user烘烤模式。。。不过他提到，要把scan speed 调到等于1，operater model为normal 模式，然后点击freeze 这个就不太懂了。。。老师，你知道吗，求解惑。。。

这个。。。我也很疑惑。烘烤的时候高压都不加的，Scan speed / operater mode / freeze都不起作用的呀。。。照他说的做，烘完了再问问他吧~

恩，谢谢你！还有我刚才看了一下真空系统图，发现就只有一个潘宁规来测量真空，为什么会出现system 和 gun两个真空数值呢，难道离子泵本身就带有测量功能，电离规吗？还有想问下烘烤的时候，离子泵是运行的吧，是否？

应助达人

因为有多个gauge测量不同位置的真空值，高真空的叫潘宁规，低真空的叫皮拉尼规

但是从上面的图中，看不出哪里有个皮拉尼规啊。。。ps：悲剧了，昨天晚上烘烤一晚上，到现在gun真空还是9.6--e-6pa，心情沮丧啊！就因为点击vent，pump这两个正常动作，然后我就悲剧了。。。真郁闷。。。一个离子泵那么贵，好无语哈。。。算是我的责任吗