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请问：Mo元素是不是很容易被Ar离子还原？多谢了

XPS及其它能谱仪

  • 最近做了一个Mo的样想进行深度刻蚀，beam energy＝4Kev，每次刻蚀时间t＝1min刻蚀收谱次数＝5，发现Mo的价态竟一次比一次低，是不是被还原了呢？
    请指教
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    +关注 私聊

  • feixiong5134

    第1楼2006/07/10

    我不知道你做的时膜还是什么什么材料，
    上次我做催化剂里面含有铜
    每刻蚀一次铜就象低价偏移
    我也以为时铜被还原了
    后来我做纯样品却没有这种情况
    所以我建议你也做个纯的样品试试

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    +关注 私聊

  • mmmx

    第2楼2007/05/05

    任何金属氧化物经氩离子溅射后，无论所用离子的能量如何低，都会被打断化学键而被部分还原的。所以化合物样品一经离子溅射后，其化学态都会发生不同程度的变化，此时就不能可靠地来分析元素的化学态了。要可靠地分析元素在表面的化学态，就不能对表面进行离子溅射！

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