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有谁知道日本的E-1030的离子溅射仪的仪器参数吗？比如喷金速率，溅射面积等等。谢谢大家！！1

  • 奋斗小鸟
    2013/09/01
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 有谁知道日本的E-1030的离子溅射仪的仪器参数吗？比如喷金速率，溅射面积等等。谢谢大家！！
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    +关注 私聊

  • asahi42

    第1楼2013/09/01

    厄…这个机器在N久以前就已经停产了…我这里只有E-1045的数据，是这款机器的升级版。

    金靶：35nm/min；铂靶：15nm/min；溅射面积：60mm。

    仅供参考。

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  • Insp_cd6a19e0

    第2楼2019/05/07

    你好，请问E-1045这个设备能镀铁吗？它的工作原理是什么呢？还有如果可以的话，对铁靶的厚度有什么要求没啊？1mm厚的能镀吗

    asahi42(asahi42) 发表:厄…这个机器在N久以前就已经停产了…我这里只有E-1045的数据，是这款机器的升级版。

    金靶：35nm/min；铂靶：15nm/min；溅射面积：60mm。

    仅供参考。

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