JEOL2011的尸体派对欢迎您的加入~

iangie

2013/09/05
色谱

私聊

透射电镜（TEM）

偶赶脚遇上大修TEM的这事儿那是得有多么的无奈...估计没有几个版友跟我一样这么不幸~~所以偶很乐意把偶的这份不幸分享给大家~~哇咔咔~~

问题描述参见偶以前那帖子: http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20120920/4250937/index_3.shtml 当时以为只是保险烧了, 但是换了保险丝之后还是很快就烧了, 之后工程师检查到projective lens短路............OMG

大家知道projective lens在最下面吧.......嗯.......神马!?........上面的镜筒全部要拆完!?...........OMG!

所以拖了很久申请经费修TEM. 于是JEOL工程师前几天终于来了....下面是拆卸的过程, 各位看官可以一起体会下怎么拆镜筒...

1. 首先把吊起各种重物的支架安装在后面的框架上. 上面吊的那个齿轮可以很方便地升降各种重物...

2. 趁开机的时候Gun Lift, 拆掉filament部分的框架.

3. 关机关冷却水循环, 把镜筒中的冷却水发放干净(俗称放血......), 我们放出来的差不多有半桶.....

4.下面得把头拆下来了...那个'r'形的HV部分在重物支架和齿轮的配合下终于拆下来了, 大家看到JEOL的老logo了吧....

5. 之后要拆掉Gun Alignment的部分拆掉, 这个不重, 用handler双手就可以拆下来.

6. 下面是Condenser Lens/CL STIG 的部分, 这个得用吊架取下来:

7. 下面这部分是全电镜最重的部分, 据说有100多kg.....那就是物镜啊! CL A/OL/OL STIG 都在一起的..

好, 上面所有的部分拆下来花了差不多两个小时.....这还是很快的了.....剩下的就是要修理的中间镜和投影镜部分了....注意这个镜筒里有很多stigmator, 要记清楚螺丝和位置, 最好做一步照个相...拆掉各种coil之前需要unsolder 线圈的引出线和镜筒外的插座.

8, 逐步打开上图这个部分, 把中间镜IL1/2 的线圈取下来, 露出要修理的IL3/PL部分, 就是这家伙短路了.............让我看看你丫到底短路在哪!!!

9. 把IL3/PL取下来之后, 翻开背面一看, OMG, 绝缘层都熔化掉了....露出的线圈跟下面的金属镜筒部分(接地)短路了...

10. 这个coil下面的金属部分留下了短路的痕迹, 旁边那些黄黄的像糖浆一样的就是coil的绝缘层熔化下来的....真恶心....

11. 把这个金属罩子取出来, 用酒精把它擦干净...

12. 为了方便安装最下面的coil, 工程师把最后的中间镜/投影镜的镜筒也取下来了. 下面是这台可怜的TEM尸体最简部分...只剩下camera chamber....

各种零件包了一桌子, 地上还有, 欢迎大家来参加TEM的尸体派对..............

13.开始安装新的coil, 当然也包含把线圈引出线跟精通外的各种插座solder起来:

14. 把以前拆掉的 IL/IL STIG coil安装上, 把这个镜筒还原.

15. 安装CL A / OL, CL/CL Stig, GUN A, HV 四个部分的镜筒, 完成镜筒的组装.

16. 下面要换溅射离子泵SIP了, 因为我们的SIP element也很老了...就是下图铝箔包起的那一坨. 注意此物跟上面平台的连接部分是使用的铜真空压圈(这货用螺丝压紧保持真空, 是一次性的, 中文名叫啥请大家指教...)而不是O-ring (不耐高温的啊~)

注意啊, 这个平台在SIP使用的时候很烫的啊, 看看上面的警告

为什么看到日文偶就非常的激动....亮点自寻...

17. 可怜的SIP终于拆下来了, 看看里面都用黑了(为什么偶想到了很糟糕的东西......):

18. 把SIP 用旧了的Ti element拆下来. 五颜六色的......

19. 用真空吸尘器把SIP里面的渣渣吸干净...安装上光亮如新的Ti Element就可以把SIP安装上那个"会发热"的平台了.

19. 之后就是把各种管子接起来, 水流是有顺序的, 各种水管子都是有标号的, 所以不会搞错的.

20. 现在工程师还在检查lens controller的电路板, 要保证各种反馈都是正常的才开lens 检查电流.

隔几天我会更新工程师是如何做对中的.....

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端慎木渐

第1楼2013/09/05

现在有件事情很奇怪，真正的好原创反倒没什么人顶。
我先支持一个。

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洪星二锅头

第2楼2013/09/05

这些图片难得一见啊

看了上次你开的帖子，还真是线圈烧了，这么严重

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〓疯子哥〓

第3楼2013/09/05

这个一般是什么原因造成的？

另外想问下，这么声势浩大的维修需要多少米？
洪星二锅头(coime) 发表:这些图片难得一见啊

看了上次你开的帖子，还真是线圈烧了，这么严重

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UPS电源解决方案

第4楼2013/09/05

真是大修啦

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洪星二锅头

第5楼2013/09/05

他的这个问题的确很严重，我觉得造成这种情况的原因也是比较极端，大电流的可能性比较大，具体什么原因造成就等lz亲自的解答了，呵呵

至于价格，如果是过了保修期，我觉得是一个小数目，就一个小东西坏了，加上工程师的出场费也是成千上万的，这么大动作，lz单位估计得流点血了
〓疯子哥〓(madprodigy) 发表:这个一般是什么原因造成的？

另外想问下，这么声势浩大的维修需要多少米？