怎么做Pt溅射镀膜厚度检查

我的经验一般溅射仪上的测厚结果都比较准确，如果你不相信，直接把镀好确定厚度Pt膜（最好厚点例如大于10nm）的样品断面抛光（最好采用离子刻蚀法）在电镜下直接测量厚度。当然你需要先校准扫描电镜标尺。

应助达人

10 nm基本上都是很多SEM的分辨率极限了...能看清吗? 我们主要想看2 nm左右厚度的coating 层......

论坛里介孔材料的照片很多，你可以找找看“是否10nm是很多SEM的分辨率极限”，4800可以清晰分辨几个纳米的介孔孔道。但是这个结果不确定度会偏大，这是电镜标尺误差带来的。你要准确测量2nm厚度的镀膜层，不确定度你应该特别关心。也就是你认为2nm±0.xnm中X是多少合适，还是2nm±1nm的结果你就认可？

应助达人

"很多"只得是W灯丝电镜. 热场发射最多也就1~2nm的分辨率啊.

"不确定度"怎么确定呢? 就算是高放大倍数栅格标样也没有那么细的啊~

如果你要准确测量2nm的薄膜厚度，用扫描电镜不确定度会较大，至于“不确定度”怎么确定这个问题，建议你去看看不确定度评定的书，简单地说不确定度就是你以前所谓的误差，只是系统考虑了多个因素。
再说钨灯丝分辨率也不至于到10nm那么差，现在很多扫描电镜标称分辨率达到0.8nm（二次电子像，30kV).测量厚度没有问题，只是误差会偏大。所以我建议你做10nm的厚膜，看看扫描电镜测量结果与镀膜仪测量结果之间相差有多大，你就会对2nm的薄膜镀膜仪测量结果误差有个概念了。

应助达人

关于SEM空间尺度标定的"不确定度评定的书"能否推荐一本? 谢谢~

请参阅GBT 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

开会的时候有老师说可以用原子力探针来检测镀膜的厚度

应助达人

那个标准主要考虑的就是标样的误差和电镜分辨率. 标样的误差一般很少大于1‰ 误差主要来源可能就是电镜分辨率和被测长度的比值. 测10nm确实比测2nm有优势.

谢谢