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求助日立S-3000N在几千倍就不清楚了！

shelleywu

2006/07/31

扫描电镜（SEM/EDS）

各位大侠，小女子在使用日立的S-3000N扫描时，用的15KV，在七、八千倍的时候图像就有些模糊了，调试了工作台距离、电压还有那个电子的数量、但始终高倍还是不清晰。我观察的是昆虫的附肢，不知道到底应该怎样调试呢？希望得到大家的帮助，谢谢！

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shuzheng

第1楼2006/07/31

拍高倍照片:WD降低,电子束流调细,高压适当高些(导体而言),差不多时,调整光栏和像散,再手动轻微聚焦,试试看看怎样?

0

semuser

第2楼2006/07/31

首先是高真空还是低真空，
高真空：注意束斑尺寸的大小、物镜光阑的孔径大小和对中、像散的调整、
工作距离的远近

低真空：需加上加速电压和真空浓度的调整

0

共工

第3楼2006/07/31

机器是很好的机器，样本是超级容易的样本，以上两项都没有问题。
操作员技术太滥，还浮躁。
shelleywu 发表:各位大侠，小女子在使用日立的S-3000N扫描时，用的15KV，在七、八千倍的时候图像就有些模糊了，调试了工作台距离、电压还有那个电子的数量、但始终高倍还是不清晰。我观察的是昆虫的附肢，不知道到底应该怎样调试呢？希望得到大家的帮助，谢谢！

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