请问谁有高分辨ICP-MS

十多年前 Thermo Element HR-ICP-MS 是台湾半导体行业的标配仪器。但2002年后，四极杆 ICP-MS已经把 HR-ICP-MS 打趴下。

打电话问下地方科研院所 学校会有高分辨的质谱

应助工程师

理论上，P确实受NO、NOH的干扰；PO受Si、O、H等组合的干扰，还受Ti的干扰。但是光伏用多晶硅的原材料——精馏后三氯氢硅中痕量P的测试，也是采用四极杆ICPMS来做的。
楼主可以设法咨询下多晶硅生产厂家。

可以考虑串接质谱ICP-MS/MS。这里有一篇应用文献

可以考虑气相色谱与ICP-MS的联用这种方法。希望能对你有所帮助。

我曾经用HR-ICP-MS做过P，在中分辨（4000）下干扰都可以分开，是可以做的~

应助达人

一般单位没有那么多钱购买和养护它，是否对分析人员的要求也很高呢？

应助达人

主要是环境，维护陈本不容小觑啊！