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放大倍数增大时电子束的变化

胖胖熊

2014/04/14

扫描电镜（SEM/EDS）

放大倍数增大时，电子束，束斑束流是怎么变化的？

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gaominghen

第1楼2014/04/15

放大倍数增大，相应的扫描区域变小，单位面积上扫过的电荷更多。从以上推算，应该是电子束被缩的更小。束斑应该和这没关系，应该是不变。束流应该是不变，但是扫到样品上的单位面积上的电荷应该是增多的，都是推想，不知道对不对。

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胖胖熊

第2楼2014/04/15

电子束缩小束斑怎么会不变呢？两者扫描关系？
gaominghen(gaominghen) 发表:放大倍数增大，相应的扫描区域变小，单位面积上扫过的电荷更多。从以上推算，应该是电子束被缩的更小。束斑应该和这没关系，应该是不变。束流应该是不变，但是扫到样品上的单位面积上的电荷应该是增多的，都是推想，不知道对不对。

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asahi42

第3楼2014/04/15

放大倍数增加减少改变的只是扫描线圈的电流强度，电子束和束斑基本不变化。
胖胖熊(v2719209) 发表:放大倍数增大时，电子束，束斑束流是怎么变化的？

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bybls_74

第4楼2014/04/17

束斑电流选定后，束斑大小应该就不变了，放大倍数的改变应该也不会影响大这两个参数，只是在放大倍数很高时，可以降低束斑大小，以提高扫描分辨率。

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