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电镜专题二-相互作用区

Insm_6faac6a4

2020/05/06

扫描电镜（SEM/EDS）

相互作用区的概念是指在样品表面之下的一个体积。如上图可见，相互作用区是入射电子束入射到样品表面激发出各类电子信号，电子信号的扩散范围。

从图中可以看到，这样的一个体积形状呈现出“梨型”

这和散射性质相关。首先，对于弹性散射和非弹性散射，弹性散射散射角>非弹性散射的散射角

当电子束入射到样品，随着电子的不断深入，能量不断减少，弹性散射发生的几率变大，由于弹性散射角较大，因而向四周扩散范围也变大，所以呈现出上窄下宽的“梨”型区域。

相互作用区与入射电子束能量和原子序数有关联。

Q：弹性散射截面（几率） E：电子束能量 Z：原子序数

有上述两个公式可知，电子束能量越高，弹性散射几率越小。可以理解为，当电子束深入样品，能量不断减小，因而弹性散射的几率则不断变大，造成梨型区域的底部。

原子序数越高，弹性散射截面越大，即弹性散射发生的可能性越大。因此对于原子序数大的样品，其作用区域就可能是“弓形”而非”梨型“

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It is me!

第1楼2020/05/06

点个赞了

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Insm_6faac6a4

第2楼2020/05/08

谢谢老师
It is me!(hmzhou83) 发表:点个赞了

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