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【求助】扫描电镜冷却水流量

ft540620

2010/05/22

扫描电镜（SEM/EDS）

日立s3000n，一直都好好的，但有一天发现冷水机水温到了75度，赶紧关机。此时电镜无异常。以为是冷水机问题
第二天维护了一下冷水机，发现冷水机工作正常，于是开电镜。电镜报警，显示无冷却水流量，可以确定的是冷却水流量稳定。
调节水流量以后，突然显示正常，可以工作几分钟，然后指示灯又跳到无流量上，过一会自动跳回正常状态，反复切换。
求教达人，有可能什么问题？

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linzq

第1楼2010/05/22

没有遇到过这种情况，不过估计是电镜的冷却水进水电磁阀门或阀门电路有点问题？只是瞎猜提供点线索
ft540620(ft540620) 发表:日立s3000n，一直都好好的，但有一天发现冷水机水温到了75度，赶紧关机。此时电镜无异常。以为是冷水机问题
第二天维护了一下冷水机，发现冷水机工作正常，于是开电镜。电镜报警，显示无冷却水流量，可以确定的是冷却水流量稳定。
调节水流量以后，突然显示正常，可以工作几分钟，然后指示灯又跳到无流量上，过一会自动跳回正常状态，反复切换。
求教达人，有可能什么问题？

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fengyonghe

第2楼2010/05/22

1 虽然维护了冷水机，却没有找到升温到75度的原因，隐患依然存在
2 电镜测温系统经历了75度的升温后可能出现了故障。

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ft540620

第3楼2010/05/23

这就是我最担心的地方，还不一定是水流量计出的问题。
fengyonghe(fengyonghe) 发表:1 虽然维护了冷水机，却没有找到升温到75度的原因，隐患依然存在
2 电镜测温系统经历了75度的升温后可能出现了故障。

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linzq

第4楼2010/05/23

冷却水压缩机问题排出了吗？制冷剂有没有泄漏掉？
ft540620(ft540620) 发表:这就是我最担心的地方，还不一定是水流量计出的问题。

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ft540620

第5楼2010/05/24

linzq(linzq) 发表:冷却水压缩机问题排出了吗？制冷剂有没有泄漏掉？

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linzq

第6楼2010/05/24

[quote]原文由 ft540620(ft540620) 发表:应该是没有泄露的。单开冷水机，状况良好。
还是找天美的工程师去现场吧，呵呵

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alexzhtang

第7楼2010/05/24

估计是冷却水机子散热不行，建议清洗机子的过滤网，估计是沾满灰尘阻挡散热。

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jzhx68

第8楼2010/05/25

同意，这个建议。
alexzhtang(alexzhtang) 发表:估计是冷却水机子散热不行，建议清洗机子的过滤网，估计是沾满灰尘阻挡散热。

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朝阳

第9楼2010/05/25

是不是里面堵了？温度过高不会提示说水流量不足的。

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lihong7178

第10楼2010/05/27

大家都冷却水一般多久换一次？是用蒸馏水吗？

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