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ICP-MS安捷伦7700s, 测试Ca和Al总是不正常

  • 无锡怀光
    2014/06/10
  • 私聊

ICP-MS

  • 如题,清洗过进样锥截取锥和管柱,我是半导体行业的,现阶段也就测试比较干净的样品。这两个元素一直不准确,使用外标法,换过标液,一直没有改善其他都很正常。这是操作问题有污染,还是我们的超净间环境有问题呢。另外还想问一下真空泵,公司我接受前是一直开着的,我也被告知不要关。
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  • 无锡怀光

    第1楼2014/06/10

    看了一天帖子,看到仪器是要接地的,我们的仪器是在桌子上的,对人体有影响么

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  • jiasheng

    第3楼2014/06/10

    测不准是指标准样品还是指QC回测。不准到什么程度,标准曲线的梯度浓度如何。。。

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  • 心思化唯一

    第4楼2014/06/10

    做Al用的是He模式还是No Gas模式?我做的时候He模式还可以,不过浓度低的几个点线性不怎么好,线性靠高浓度拉起来的,应该是污染的问题,还有Zn也不好做,自然界太多了,容易污染

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  • 光哥

    第5楼2014/06/10

    应助工程师

    楼主描述得详细点,包含但不限于:
    1、您测试的是什么样品?
    2、测试的时候采用哪种模式?
    3、流程空白大约多少?

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  • 无锡怀光

    第6楼2014/06/11

    测试的话是一些融合气体水样品,想看看我们产生的气体是否纯净,选择超纯水融合后检查。

    模式的话,前人告诉我质量数小于65的用cool,大的用normal。有特殊要求而且元素比较少的用He。(我比较怀疑,但是我没受过训练,老总让我都听她的)

    空白的话0,300ppt, 800ppt, 2000ppt

    光哥(xsh1234567) 发表:楼主描述得详细点,包含但不限于:
    1、您测试的是什么样品?
    2、测试的时候采用哪种模式?
    3、流程空白大约多少?

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  • hsu3111

    第7楼2014/06/11

    以我的經驗AGILENT 7700S 等級測試半導體行業的樣品上,Al&Ca使用cool
    plasma IDL可達ppt級數,且相對穩定,你可試著將RF power降至600W
    Carrier gas固定,makup gas調到0.75~0.85,其他相關的參數可參考
    agilent 操作說明書

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  • 无锡怀光

    第8楼2014/06/11

    如附件

    jiasheng(jiasheng) 发表:测不准是指标准样品还是指QC回测。不准到什么程度,标准曲线的梯度浓度如何。。。

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  • 无锡怀光

    第9楼2014/06/11

    谢谢你分享的经验,不过那个RF power和其他条件是针对所有的元素么,还是这个两个特定的,我们一般测试24个元素,

    hsu3111(hsu3111) 发表:以我的經驗AGILENT 7700S 等級測試半導體行業的樣品上,Al&Ca使用cool
    plasma IDL可達ppt級數,且相對穩定,你可試著將RF power降至600W
    Carrier gas固定,makup gas調到0.75~0.85,其他相關的參數可參考
    agilent 操作說明書

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  • 光哥

    第10楼2014/06/11

    应助工程师

    Ca选择amu=40,采用cool plasma模式测试:
    1、功率大约650w;
    2、采样深度18~20mm;
    其他参数参考7#,调谐的指标:59Co>=20000cps同时DIW中 39、40<1000cps、56和80<100cps

    Al采用冷焰不太合适了,灵敏度会太低了,用Nogas或者He模式都可以的。

    另外一个A家的机器有时候会出现一些很稀奇古怪的现象,所以拉曲线和测样品之前,先用你要测的样品进样一会,让机器适应下这东西。

    您这样品拉曲线怎么不用标准加入法呢?

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