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如何减轻Cryo-SEM charging 现象？

制样师

2014/06/27

扫描电镜（SEM/EDS）

如题。求前辈们指点。

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fengyonghe

第1楼2014/06/28

就这个样品讲，连续降低高压直到不荷电。

0

asahi42

第2楼2014/06/28

虽然放大倍数比较低，但是WD也太大了些，这样会导致信号量不足。
对于3400,5kV的束流比6kV要大，图像信息量也会好。
3kV和5kV对于3400已经是很低的加速电压了，建议喷金再喷厚些。

0

fengyonghe

第3楼2014/06/28

没注意到是钨灯丝电镜，电压不宜过低。

0

制样师

第4楼2014/06/28

下次试试减小WD和增加喷金时间看看。多谢指点
asahi42(asahi42) 发表:虽然放大倍数比较低，但是WD也太大了些，这样会导致信号量不足。
对于3400,5kV的束流比6kV要大，图像信息量也会好。

3kV和5kV对于3400已经是很低的加速电压了，建议喷金再喷厚些。

0

制样师

第5楼2014/06/28

是啊，电压太低了噪点多，信号差。
fengyonghe(fengyonghe) 发表:没注意到是钨灯丝电镜，电压不宜过低。

0

fengyonghe

第6楼2014/06/29

只有800倍，束斑直径取150nm会好很多。
制样师(liuzhikakashi) 发表:是啊，电压太低了噪点多，信号差。

0

制样师

第7楼2014/06/29

5

因为不能经常摸电镜，3400的束斑直径怎么调？
fengyonghe(fengyonghe) 发表:只有800倍，束斑直径取150nm会好很多。

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驰奔

第8楼2014/07/02

楼主的图像，怀疑样品都没喷金。
或者喷了，没接地气

0

chinalco

第9楼2014/07/28

多喷金减小工作距离，800倍好模糊啊

0

fengyonghe

第10楼2014/07/28

这张图未必是荷电，样品的毛毛多，二次电子发射量大，束流小、背低噪音高。这种样品要求景深大800倍工作距离17mm还是近了些。

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