电镜里面的冷却系统？

水冷制冷这个还真没听说过。液氮制冷那就是低温氮气制冷的冷台了。

是真空系统工作时需要冷却，基本采用水冷。扩散泵、离子泵需要冷却。离子泵有的还设有液氮冷却装置，但很少用。采用磁悬浮的分子泵不需冷却。

场发射电镜的物镜（电磁透镜型）需要水冷，如果配冷阱则为液氮制冷
扩散泵（目前很少使用了）需要液氮制冷

谢谢！不是配件，是硬件！

一级泵我们用的机械泵；二级离子泵我见工程师拆过，没有看到冷却装置。

物镜需要水冷，那只是在物镜内循环，还是要通到镜筒外面循坏呢？

谢谢！

二级泵是分子泵，三级泵是离子泵。

不好意思，说错了！

离子泵也分几极的，他应该说的是 二极离子泵 就是最简单的两级
泵级分粗 中 高
机械泵是粗抽 分子泵 离子泵都是高泵
机械泵给分子泵提供前级，分子泵给离子泵提供前级
但是分子泵离子泵都属于高泵