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什么是减速模式,有什么用呢

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 经常看到有大师们说减速模式,请教下什么是减速模式,用来干嘛?
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  • 小M

    第1楼2013/01/28

    应助达人

    这么说吧,用5KV的电压,在开4KV的减速电压,那么样品上的着陆电压就只有1KV,1KV的损伤、5KV的分辨率,就这个效果

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  • 小M

    第2楼2013/01/28

    应助达人

    着陆电压小的话,辐照损伤、荷电会小一些,表面信息更多。减速模式要的效果就是克服这些不利因素,又要发挥相对高的电压时的分辨率。

    不开减速模式,用5KV的电压,着陆电压就是5KV,landing energy就是5KeV

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  • asahi42

    第3楼2013/02/09

    虽然说在理论上没问题,但是谁能给画画这个减速场实际上究竟是怎么加上去的?样品台组件那么高的说。。。还有一个问题就是,对于块状的样品,形状相同的前提下,减速场的形状和分布与样品导电与否有没有关系?

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  • fengyonghe

    第4楼2013/02/10

    张大同对这些问题的有关论述如下:

    低电压操作有三个限制性因素,他们是空间电荷效应、电子光学系统相差和杂散磁场的影响。

    让电子束自光源出射后始终以高压态势在光路中高速运动,直到样品附近才减速,提供所要求的最终电压值,称为着陆电压。在电镜光路附近安装一条电子束加速管 (Beam booster ) ,顶端与场发射电子枪的第二阳极封接,高能电子束在管中高速穿行通过镜筒,只在出射物镜下表面之前被预先设定的反电位减速,实现最终的着陆电压。这样可以避免上述的各种限度提高低电压操作性能。

    可见在减速模式中反电位是加在出射物镜下表面之前的,不是加在样品台或者试样上的。所以减速模式和样品形状以及样品是否导电没有直接关系。

    asahi42(asahi42) 发表:虽然说在理论上没问题,但是谁能给画画这个减速场实际上究竟是怎么加上去的?样品台组件那么高的说。。。还有一个问题就是,对于块状的样品,形状相同的前提下,减速场的形状和分布与样品导电与否有没有关系?

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  • gao007007

    第5楼2013/03/16

    日立电镜的减速场是加在样品台上的,所以样品不能有大的凹凸起伏,最好是薄的(分散在碳胶带或液体碳胶或硅片上的粉末样品可以),样品台边缘附近减速场不均匀所以样品要放在样品台中间。
    大块状不均匀样品基本没法用减速
    小颗粒样品不导电没有影响
    截面样品使用特殊的样品台也可以

    其他厂家好像有在物镜极靴位置加减速场的,但不知是否会对入射电子束有影响

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  • wusuf

    第6楼2013/03/21

    gao007007(gao007007) 发表:日立电镜的减速场是加在样品台上的,所以样品不能有大的凹凸起伏,最好是薄的(分散在碳胶带或液体碳胶或硅片上的粉末样品可以),样品台边缘附近减速场不均匀所以样品要放在样品台中间。
    大块状不均匀样品基本没法用减速
    小颗粒样品不导电没有影响
    截面样品使用特殊的样品台也可以

    其他厂家好像有在物镜极靴位置加减速场的,但不知是否会对入射电子束有影响

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  • 北冥鲲鹏

    第7楼2013/03/27

    受教了,但是对二次电子的激发没有减少吗?

    gao007007(gao007007) 发表:日立电镜的减速场是加在样品台上的,所以样品不能有大的凹凸起伏,最好是薄的(分散在碳胶带或液体碳胶或硅片上的粉末样品可以),样品台边缘附近减速场不均匀所以样品要放在样品台中间。
    大块状不均匀样品基本没法用减速
    小颗粒样品不导电没有影响
    截面样品使用特殊的样品台也可以

    其他厂家好像有在物镜极靴位置加减速场的,但不知是否会对入射电子束有影响

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  • 另一半是孩子

    第8楼2013/04/09

    如果是加在样品台上的负压,肯定对样品有要求,表面高低不平整的块状样品会形成电位差,影响成像。蔡司的电镜是把减速电压放在了镜筒里,这种减速模式不会挑样品。

    北冥鲲鹏(v2703309) 发表:受教了,但是对二次电子的激发没有减少吗?

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  • gao007007

    第9楼2013/04/18

    加负电场,对二次电子的激发会增加

    北冥鲲鹏(v2703309) 发表:受教了,但是对二次电子的激发没有减少吗?

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  • gao007007

    第10楼2013/04/18

    你说的没错,但蔡司的设计最为奇怪,其它厂家都没有这种设计。貌似蔡司的电镜无法关闭减速功能。

    另一半是孩子(v2685631) 发表:如果是加在样品台上的负压,肯定对样品有要求,表面高低不平整的块状样品会形成电位差,影响成像。蔡司的电镜是把减速电压放在了镜筒里,这种减速模式不会挑样品。

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