求文獻5篇

【序号】：1
【作者】：姚吉升 唐三川 陈坚 王玺 周友元 黄军武
【题名】：ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究
【期刊】：《中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集》
【年、卷、期、起止页码】：2002年
【全文链接】：http://cpfd.cnki.com.cn/Article/CPFDTOTAL-ZGZU200212001013.htm

【序号】：2
【作者】：李光哲
【题名】：ITO靶材在黑化过程中面电阻波动的原因分析及解决方法
【期刊】：《真空》
【年、卷、期、起止页码】：1999年02期
【全文链接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-ZKZK902.011.htm

【序号】：3
【作者】：姜鹤； 王东新； 王燕昌； 孙本双； 钟景明
【题名】：ITO靶材的毒化机理研究现状
【期刊】：湖南有色金属
【年、卷、期、起止页码】：2012年01期
【全文链接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-HNYJ201201015.htm

【序号】：4
【作者】：孔伟华
【题名】：ITO靶材在磁控溅射过程中的毒化现象
【期刊】：无机材料学报
【年、卷、期、起止页码】：2002年05期
【全文链接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-WGCL200205030.htm

【序号】：5
【作者】：侯俊峰； 李志友； 周科朝； 孙本双； 姜鹤；
【题名】：掺锡氧化铟陶瓷靶材在直流磁控溅射过程中“结瘤”的形成与演化
【期刊】：人工晶体学报
【年、卷、期、起止页码】：2013年08期
【全文链接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-RGJT201308023.htm