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JEOL 2010 TEM合轴及像散操作-附操作界面请多指教也请大家发一些打衍射，拍明场，暗场的操作方法和经验

剑戬之

2014/11/26

透射电镜（TEM）

从插入电杆后开始：
一、找样品薄区（孔）

1、保证物镜光阑和选区光阑移出；

2、选低倍模式（LOW MAG），调至250×；

3、选光斑1； SPOT=1

4、BRIGHTNESS 逆调放散束斑至最大（滴滴）；

5、如果有聚光镜光阑像，则通过聚光镜光阑旋钮移开；

6、通过滚球移动样品到屏幕中心；

7、选高倍模式( MAG1），调至20K×

二、电子枪（灯丝）对中

1、设OBJ 为6.91；

2、MAG1 和50K×模式；

3、在高倍模式( MAG1）下，选束斑（SPOT SIZW）和会聚角(α-SELECTOR)为2-3;在交叉点（beam crossover），调BRITHTNESS，电子束放散，会聚几次；保证电子束放散，会聚时是以交叉点为中心，如果不是，则通过BEAM(上左右)并调SHITF调至中心；

4、在高倍模式( MAG1）下，选束斑（SPOT SIZW）和会聚角(α-SELECTOR)为1-3; 在交叉点（beam crossover），调BRITHTNESS，电子束放散，会聚几次；保证电子束放散，会聚时是以交叉点为中心，如果不是，则通过GUN(右下)并调SHITF调至中心；

5、通过GUN DER X/Y 增加强度使发射像对称；

三、聚光镜对中

1、在高倍模式( MAG1）下，选束斑（SPOT SIZW）和会聚角(α-SELECTOR)为1-3; 在交叉点（beam crossover），调BRITHTNESS，电子束放散，会聚几次；保证电子束放散，会聚时是以交叉点为中心，如果不是，则通过GUN(右下)并调SHITF调至中心；

2、在高倍模式( MAG1）下，选束斑（SPOT SIZW）和会聚角(α-SELECTOR)为5-3;在交叉点（beam crossover），调BRITHTNESS，电子束放散，会聚几次；保证电子束放散，会聚时是以交叉点为中心，如果不是，则通过BEAM(上左右)并调SHITF调至中心；

3、重复1、2；直至改变SPOT SIZE从1~5时，电子束不漂移；

四、聚光镜光阑对中

1、在高倍模式( MAG1）下，选束斑（SPOT SIZW）和会聚角(α-SELECTOR)为2-3;在交叉点（beam crossover），调BRITHTNESS，电子束放散，会聚几次；保证电子束放散，会聚时是以交叉点为中心，如果不是，则通过BEAM(上左右)并调SHITF调至中心；

2、放散电子束，看到聚光镜光阑像；

3、通过聚光镜光阑旋钮将光阑移至中心，直到电子束不移动；

4、在200K×下重复1~3；

五、聚光镜消像散

通过电压中心对中调整后，电子束仍不圆，聚光镜的像散必须消除，减小球差：

1、按COND STIG(上左)；

2、调整DEF X/Y，使电子束变圆；

3、按BRIT TILT（上左）；

4、调BTIGHTNESS,放散满屏；

六、调整Z-height(eucentric height)

1、将样品边缘移至中心；

2、将OBT FOCUS调节至0，即DV=+0;

3、通过Z-CONTROL来聚焦图像；衬度最小；也可用WOBBLER IMAGE X/Y协助调整；

七、电压中心对中；

选HT(上右)，并选BTIGHY TILT ,调整DEF X/Y直到像不移动

---此步非常重要；

---通过双目镜或放大倍数得到好的结果；

---如果束斑不圆，成椭圆，此步的调整是必须的；

---再次按HT，取消；

八、物镜消像散

获得BF像，按OBJ STIG(上左)，调整DEF X/Y，使电子束变圆；

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洪星二锅头

第1楼2014/12/22

衍射，明暗场，在论坛里有不少的讨论帖，楼主可以找找

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