六脉神剑
第1楼2006/09/24
下面是对摘要进行的粗略地翻译,大家可以继续进行翻译。另外,如果对我的翻译有疑义,请毫不客气地指出来。
报道了一种新型的制备工艺,这种制备工艺能够将离子敏场效应晶体管与CMOS(互补金属氧化物半导体,)电路一道制作在同一个芯片上。该工艺以标准的2微米、n-well的CMOS工艺为基础,仅仅在金属互连步骤之后进行了改进。该工艺中互连层是硅化钨这种金属硅化物。离子敏场效应晶体管由多晶硅浮栅经光刻曝光和氢氟酸刻蚀进行图形化加工然后再沉积氮化硅薄膜制作而成。氮化硅薄膜既作为离子敏场效应晶体管的pH敏感绝缘层又作为芯片上、埋在传感器下的电路的保护层。这种工艺制作的器件具有优良的pH灵敏度。由于多晶硅浮栅的存在,这些传感器对外界的光没有敏感性,而对光的敏感是传统的离子敏场效应晶体管的一个常见问题。本文向大家描述了一个能够根据晶体管传感器的阈值电压的变化而向外输出电压的源从动电路。
六脉神剑
第2楼2006/09/24
下面对其中提到的CMOS进行简单地介绍,作为了解这篇文章的背景知识:
CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)是一种被大规模运用的半导体器件,CMOS是由NMOS和PMOS连接而成,是一种互补结构的MOS器件.CMOS结构也是由著名华人科学家--萨支唐教授(Prof. Chih-Tang Sah,原厦门大学校长著名物理学家萨本栋之子)在60年代末首先提出来的.
现在由于对于CMOS研究和运用的广泛,CMOS这个词,已经超越其本身只是一种半导体器件的狭窄概念范畴,含义大大的拓展.CMOS已经不仅指一种器件结构,更多是指一种方法,一种设计的思想,一个以CMOS为基本器件的电路和系统.
至于其用途,则十分的广泛.主要在于作为IC的基本器件和感光器件.至于在MEMS上的运用,本人所知有限.但是若是从机械电子的基本结构电路来说,似乎双极型(BiPolar)/双极CMOS混合(BiCMOS)的器件使用较多,从MEMS细微机械结构的研究来讲,因为其本身就要研制新的结构,似乎不必过多使用CMOS.加工的,我就不大懂了.不过机械的研究人员很多都会研究到IC的生产设备的制造问题