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扫描电镜的漂移问题

扫描电镜(SEM/EDS)

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  • 我厂购买TESCAN的扫描电镜,出现较为明显的漂移问题,经测试漂移量为27nm/min 厂家说正常。但对于我们而言已经影响工作。 求各位 的漂移数据做个参考 。谢谢

驰奔 2015/03/11

一般没有这个数据,都是看出毛病了,找原因。 这个漂移量,如果慢速照相是否可以看出明显变形呢? 试着估算一下: 0.45nm/秒的飘逸量,放大10万倍,假设照相扫描一帧60秒,观察颗粒尺度为27nm,结果应该是颗粒在漂移方向拉伸不到1nm,在图像上肉眼很难分辨。 扫描速度越慢,越明显。 估计楼主是挑战最高像素图像去了!! 个人认为对于钨灯丝扫描电镜没有任何影响。

小M 2015/03/31

正常的情况应该是低倍漂移不明显,高倍漂移更明显。 楼主的意思是100K倍漂移速率为27nm/min,2K倍左右,漂移速率远大于27nm/min?同一样品,同样的环境在相近的时间得到的结果?难以解释

fengyonghe 2015/03/10

样品导电性不好才会飘逸,包括样品与样品台的连接电阻

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  • happy水中月

    第1楼2015/03/10

    说明书上面没有吗?

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  • fengyonghe

    第2楼2015/03/10

    样品导电性不好才会飘逸,包括样品与样品台的连接电阻

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  • 驰奔

    第3楼2015/03/11

    一般没有这个数据,都是看出毛病了,找原因。
    这个漂移量,如果慢速照相是否可以看出明显变形呢?
    试着估算一下: 0.45nm/秒的飘逸量,放大10万倍,假设照相扫描一帧60秒,观察颗粒尺度为27nm,结果应该是颗粒在漂移方向拉伸不到1nm,在图像上肉眼很难分辨。
    扫描速度越慢,越明显。
    估计楼主是挑战最高像素图像去了!!

    个人认为对于钨灯丝扫描电镜没有任何影响。

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  • fengzhuimeng

    第4楼2015/03/12

    可能没固定好

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  • Bing9487

    第5楼2015/03/12

    这个数据确实是在10万倍下测量的 但是2K倍左右 1min时间 图像漂移的就比较明显 用肉眼可较容易分辨

    驰奔(srd2009) 发表:一般没有这个数据,都是看出毛病了,找原因。
    这个漂移量,如果慢速照相是否可以看出明显变形呢?
    试着估算一下: 0.45nm/秒的飘逸量,放大10万倍,假设照相扫描一帧60秒,观察颗粒尺度为27nm,结果应该是颗粒在漂移方向拉伸不到1nm,在图像上肉眼很难分辨。
    扫描速度越慢,越明显。
    估计楼主是挑战最高像素图像去了!!

    个人认为对于钨灯丝扫描电镜没有任何影响。

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  • Bing9487

    第6楼2015/03/12

    这个原因已排除

    fengzhuimeng(fengzhuimeng) 发表:可能没固定好

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  • 驰奔

    第7楼2015/03/13

    那就不是27nm/分钟。扫描驱动控制板,根据放大倍数分好阶上去,如果低阶扫描出问题,高阶看不出来,可以用。
    当然并不能由此判段扫描板有问题,图像漂移的偶然性很多。

    Bing9487(v2983959) 发表: 这个数据确实是在10万倍下测量的 但是2K倍左右 1min时间 图像漂移的就比较明显 用肉眼可较容易分辨

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  • 小M

    第8楼2015/03/31

    应助达人

    正常的情况应该是低倍漂移不明显,高倍漂移更明显。
    楼主的意思是100K倍漂移速率为27nm/min,2K倍左右,漂移速率远大于27nm/min?同一样品,同样的环境在相近的时间得到的结果?难以解释

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  • corolin-02_28

    第9楼2015/04/01

    这样对能谱分析和EBSD测试会有很大的影响,别的电镜也会漂移吗

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  • corolin-02_28

    第10楼2015/04/01

    如果排除样品的导电性、样品的粘贴等原因,单独从仪器方面讲,会产生图像的漂移吗?

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