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扫描电镜实验测试发现问题了，怎么办？？

ybhetao5

2012/02/17

扫描电镜（SEM/EDS）

请教各位高手，发射电流偏低怎么办
我是一菜鸟，用的是日立S3400N II型钨灯丝扫描电镜，换灯丝以后，发射电流（Emission current)很低，大多数时候只在50多ua，30KV时甚至只有40多，而Fiament可以调到90以上，gun bias已调到1，2 的样子，发射电流仍上不去，请教各位，是何原因？该如何调节？

有时甚至会有零发射，要求检查filmant ,但几秒钟后又回到20、30多ua，不过最高也只有60不到点，是何原因。请各位不吝赐教啊，谢谢！

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fengyonghe

第1楼2012/02/17

韦氏组件侧面的三颗螺丝一定要对中好，你这种情况要调小灯丝和维氏帽间的距离，逆时针转动一个角度，再根据束流大小重复调整。
ybhetao5(ybhetao5) 发表:请教各位高手，发射电流偏低怎么办
我是一菜鸟，用的是日立S3400N II型钨灯丝扫描电镜，换灯丝以后，发射电流（Emission current)很低，大多数时候只在50多ua，30KV时甚至只有40多，而Fiament可以调到90以上，gun bias已调到1，2 的样子，发射电流仍上不去，请教各位，是何原因？该如何调节？

有时甚至会有零发射，要求检查filmant ,但几秒钟后又回到20、30多ua，不过最高也只有60不到点，是何原因。请各位不吝赐教啊，谢谢！

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yinsh1212

第2楼2012/02/17

日立S3400电镜应该采用的是预对中的灯丝组件，在换新灯丝的时候，与灯丝配套的会有对应的铜垫圈，如果引出电流太小，可以减少铜垫圈。
另外也可以调整灯丝饱和点的设置。

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ventyxu

第3楼2012/02/20

一个铜电圈可以增加或减少10-15uA的电流。
yinsh1212(yinsh1212) 发表:日立S3400电镜应该采用的是预对中的灯丝组件，在换新灯丝的时候，与灯丝配套的会有对应的铜垫圈，如果引出电流太小，可以减少铜垫圈。
另外也可以调整灯丝饱和点的设置。

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dinel2004

第4楼2012/02/22

偏压gun bias调到3，或者把灯丝的位置调近一些都可以。关键是找到灯丝饱和点。
ybhetao5(ybhetao5) 发表:请教各位高手，发射电流偏低怎么办
我是一菜鸟，用的是日立S3400N II型钨灯丝扫描电镜，换灯丝以后，发射电流（Emission current)很低，大多数时候只在50多ua，30KV时甚至只有40多，而Fiament可以调到90以上，gun bias已调到1，2 的样子，发射电流仍上不去，请教各位，是何原因？该如何调节？

有时甚至会有零发射，要求检查filmant ,但几秒钟后又回到20、30多ua，不过最高也只有60不到点，是何原因。请各位不吝赐教啊，谢谢！

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asahi42

第5楼2012/03/01

把垫圈拿得就剩一个在上面，然后把Auto Gun Bias前面的勾去掉，Gun Bias打到0，用15kV，看看发射电流是多少。再不超过100，就换一根新灯丝试试。Hitachi SEM的灯丝都是预对中的，在调节灯丝组件对中程度方面，不建议客户自行操作。

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xx2882xx

第6楼2012/03/05

你有点过AFS吗？

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luhaishan

第7楼2012/03/07

不要妄自菲薄，胆大心细，时间长了就熟悉了，垫圈拿掉些，或者重新换个灯丝上去看看是不是问题也一样，有问题找我们厂商呀，我们有售后服务的呀

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