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求文獻1篇

文献检索－互助

  • 【序号】：1
    【作者】：    A. V. Rogov, Yu. V. Kapustin, Yu. V. Martynenko

    【题名】：Factors determining the efficiency of magnetron sputtering. Optimization criteria
    【期刊】：    Technical Physics
    【年、卷、期、起止页码】： February 2015, Volume 60, Issue 2, pp 283-291
    【全文链接】：    http://link.springer.com/article/10.1134/S1063784215020206

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  • dong3626

    第1楼2015/03/11

    应助达人

    Factors determining the efficiency of magnetron sputtering. Optimization criteria

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