电子探针与能谱和波谱的区别

电子探针和点扫应该不是一回事。

电子探针X射线显微分析仪(简称电子探针)利用聚焦电子束，在样品表层微区内激发元素的特征X射线，根据特征X射线的波长和强度，进行微区化学成分定性或 定量分析。电子探针的光学系统、真空系统等部分与扫描电镜基本相同，通常也配有二次电子和背散射电子信号检测器，同时兼有组织形貌和微区成分分析两方面的 功能。电子探针的构成除了与扫描电镜结构相似的主机系统以外，还主要包括分光系统、检测系统等部分。
电子探针常规配置有1道能谱仪，4道或者5道波谱仪，根据用户实际需求选择不同的晶体配置。一般来讲，电子探针是有标分析，电镜是无标分析。

电子探针，EPMA ,electron probe micro-analyzer，电子探针显微分析仪。
通过电磁线圈把电子束压缩的很细，可以想象成一个针尖，所以叫电子探针，好像也有人称SEM EDS为电子探针呢，但一般电子探针特指配备了3~5道波谱系统，具有光学显微镜定位试样分析位置（满足罗兰圆需求，布拉格衍射原理）的微区分析仪器。

电子探针EPMA有其独特的优势特点，是SEM EDS或SEM WDS所不能取代的。

现在EPMA有三家：

岛津：EPMA-1720，EPMA-8050G，对应钨灯丝（CeB6)，和场发射
日本电子：JXA-8230, JXA-8530F,对应钨灯丝(LaB6)和场发射
法国Cameca：SXFive，SXFive-FE,对应钨灯丝(LaB6)和场发射。

就场发射来说，目前岛津的性能指标最好。

自动化程度也是岛津最高。