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用安捷伦ICP-MS7700s测试金属Ti，取相对原子质量多少的合适

  • 豆豆3252
    2015/06/18
    • 私聊

ICP-MS

  • 用安捷伦ICP-MS7700s测试硅片金属Ti，取相对原子质量多少的合适？47？48
  • 分
  • 该帖子已被版主-狼牛牛加2积分，加2经验;加分理由:鼓励发帖
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  • abcpgf

    第1楼2015/06/18

    应助达人

    我们选择的是47的。

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  • 光哥

    第2楼2015/06/18

    应助工程师

    单四极杆的测不了，除非Ti的浓度达到一定的程度。但是Ti达到那个程度的话，这个硅片基本可以判定为废品了

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  • 又又1990

    第3楼2015/06/29

    是不是有特定的仪器可以检测呀

    光哥(xsh1234567) 发表:单四极杆的测不了，除非Ti的浓度达到一定的程度。但是Ti达到那个程度的话，这个硅片基本可以判定为废品了

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  • 光哥

    第4楼2015/06/29

    应助工程师

    8800或者高分辨吧。
    SiO、SiOH、SiF、SiFH覆盖了Ti的全部稳定同位素

    又又1990(v2984502) 发表: 是不是有特定的仪器可以检测呀

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  • 又又1990

    第5楼2015/06/29

    哦哦 楼主可以试一下呢

    光哥(xsh1234567) 发表:8800或者高分辨吧。
    SiO、SiOH、SiF、SiFH覆盖了Ti的全部稳定同位素

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  • 豆豆3252

    第6楼2015/06/29

    谢谢！我测试了超纯水和SI的能测试出数值，但是测试SIO2，就测试不出数值了。有更好的办法测试SIO2吗

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  • 光哥

    第7楼2015/06/29

    应助工程师

    关键是测出的数值很大程度上和工艺对不起来，或者说这个测试值完全没有意义
    1、光伏用硅片：如果Ti的浓度超过XXppb，按理论转换效率会大幅度下降。事实上并没有——可以找下杨德仁老师的某ppt；
    2、IC用的硅片：IC级的硅片对Ti的容忍度更低吧？确定分析结果可用？

    豆豆3252(v2868110) 发表:谢谢！我测试了超纯水和SI的能测试出数值，但是测试SIO2，就测试不出数值了。有更好的办法测试SIO2吗

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