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FEI QUNTA 650 图像不清晰

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 最近针对样品台，拍四五千倍的图像都很不清晰了，像散调节在中间，不是很偏，可是怎么聚焦都不清晰，有时候拍高倍像散很严重（原来同样条件不会这么明显），不知道怎么回事，求各位前辈帮忙分析？
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    +关注 私聊

  • asahi42

    第1楼2015/08/06

    看一下物镜光阑是不是污染掉了？

0
    +关注 私聊

  • BBLZM

    第2楼2015/08/17

    1.请首先确定您有定期做对中，光斑等都在最佳状态
    2.反射电流是否稳定
    3.以上都完好，请重启机台，让软件重启试试
    4.实在不行，估计问题就是4了！看一下极靴是否脏了，有专用吸尘器可以洗一下尘

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