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求救:SEM抽真空时,有异味,声音是那种破响的声音,有没有那位大虾指教一下!

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 问题如题,还请赐教
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  • 常怀千岁忧

    第1楼2006/06/21

    异味可能是机械泵油雾分离器没有过滤掉的油雾味
    破响的声音不知道是什么样子的声音

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  • xuexinrui

    第2楼2006/06/21

    就是那种嘶哑的但感觉抖动比较大的声音

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  • angel8201

    第3楼2006/06/26

    会不会是真空泵里面的油该换了?或者真空样品室的密封性不好了,猜测:)

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  • angel8201

    第4楼2006/06/26

    会不会是真空泵里面的油该换了?或者真空样品室的密封性不好了,猜测:)

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  • sunnysky

    第5楼2006/06/27

    应该是真空系统有较大泄漏,可以先查样品室门的密封圈

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  • xuexinrui

    第6楼2006/06/27

    样品室的密封应该没有问题的 ,不过说到油虽然很久没有换,但是油还是很清亮的,所以我想也不会是油的问题吧

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  • sunnysky

    第7楼2006/06/29

    如果抽真空正常的话,检查一下机械泵的油过滤器是不是该换了,有声音的话是不是过滤器松动了

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  • xuexinrui

    第8楼2006/06/29

    请问要怎样检查呢?要打开吗?我还没有打开过,不知道会不会出现什么问题呢?

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  • doriszhang

    第9楼2011/08/28

    楼主,你那个sem 是什么味道啊?我们实验室里不知道这两天哪来的恶臭味,希望不是sem散发的啊

    (xuexinrui) 发表:问题如题,还请赐教

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