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SEM中的工作距离和Z轴的关系

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 请问各位专家，SEM中的工作距离(working distance)究竟是如何定义的呢？和Z轴的数值有何关系呢？ 在做EDS时需要固定工作距离在一定的数值，但是先定好WD后图像不是很清楚，待把图像调清楚后WD又变化了，该如何解决呢？
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    +关注 私聊

  • Hyl1

    第1楼2015/10/25

    个人理解：调清楚时的WD才是真实的工作距离，和Z值是对应的

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  • 小M

    第2楼2015/10/25

    应助达人

    工作距离WD是极靴至样品表面的距离。当聚焦清楚时，软件上显示的WD值就是此处样品位置的真实WD。
    Z轴的数值只有在做过link Z to WD操作后才是真实的。

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  • 蓝侧卫

    第3楼2015/10/28

    原来已经有人发了类似贴,正好学习了

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  • fengyonghe

    第4楼2015/10/28

    调整聚焦时调整的是聚光镜电流，不应该影响工作距离

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