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请教大侠,为什么我的溅射仪靶材没用多久就扭曲变形了呢?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 如题,溅射镀膜仪的铂靶没用多久就扭曲变形,是什么原因呢?
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  • skyhunter

    第1楼2015/11/22

    感觉是不是铂靶太薄了呀?溅射加热导致变形?另外是不是铂靶尺寸太大,是物理变形吗?你可打开看看。有新靶需求,可联系我啊呵呵。

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  • 广州竞赢化工

    第2楼2016/02/24

    请问每次溅射的时间是多久?溅射电流多大?

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  • kykysem

    第3楼2016/03/11

    好像是电流过大,是不是经常给电极镀膜需要很厚,这样才会造成靶材的消耗过快。

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  • Hyl1

    第4楼2016/03/19

    这个变形有点恐怖,没见过。。。 查到原因了吗?

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  • 驰奔

    第5楼2016/03/20

    好像靶没装好吧,

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  • 博远微纳

    第6楼2016/11/15

    相关系数和实验环境说一下?

    博远微纳(中国)有限公司 创立于2004年,共有员工20余人,其中高级工程师8人,研发团队7人,是中国区第一家专注于研发、生产、销售溅射仪及扫描电镜的高新技术企业。公司集溅射仪,镀膜仪,扫描电镜,维护改造四位一体,拥有一支专业的工程师团队,并将溅射仪、镀膜仪系列产品的质量和性能提高到国际一流的水准。在过去的10多年间,博远微纳单在中国区已销售、服务超过1000位商业客户,累积销售近千台溅射仪、镀膜仪和扫描电镜等配套服务。

    据相关资料统计,博远微纳单在中国大陆的市场份额已经达到30%以上。国际市场情况请联系公司国际销售顾问。

    公司以严格的质量保证体系(公司认证ISO: 9001,产品符合欧盟CE标准,部分认证危险化学品及美国质量认证),一流的服务标准,领先的生产技术,精湛的制造工艺,按照客户需求设计、制造、生产各类行溅射仪、镀膜仪、扫描电子显微镜等系列产品。

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