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【求助】EDS的空间分辨率是多少？

XPS及其它能谱仪

  • 我生长的是多层膜结构，每层的厚度是几十个纳米，能用EDS分析每一层的元素变化吗
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  • 大陆

    第1楼2008/06/08

    几十纳米对于透射来说应该算较厚的了，
    是不是可以用TEM下的EDS或EELS？
    当然要制备截面透射电镜样品，非常不易，但可行。

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