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有没有办法由由真空值判断真空腔是油污染或者水蒸汽残留的？

INRS

2016/05/08

液质联用（LCMS）

朋友们好，请问下一清洁真空腔有残存水蒸汽的真空值跟一受到油污染的真空腔真空值是不是同一个区间啊?
搞了一个星期，机器真空度不见好转，真空值一直抽不上去，停留在7E-1pa，
前一段时间也曾经发生过，但是经过烘烤之后，真空值在10-1pa附近停留了一下后，能攀升真空能达到10-4pa没问题，时间开长点10-5pa也能达到。
现在尝试烘烤腔体再抽高真空，分子泵开了一下，提速过程没见到真空度有上升，
再坚持开下去，不知道碰到的是水蒸汽量的临界点，还是分子泵的临界点，不敢开了，
也仔细的用丙酮擦拭了真空腔，状况依然没有改善，我怀疑是油污染，不过全部清洗工程太浩大。
有没有朋友有同样的经历，维持在低真空抽不上去的，有什么建议没有？
谢谢大家了。

分
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wengl

第1楼2016/05/08

低真空是由机械泵的测的，先手动开机械泵，看真空度有没上升，或许是由于机械泵的问题。

0

INRS

第2楼2016/05/08

wengl(wengl) 发表:低真空是由机械泵的测的，先手动开机械泵，看真空度有没上升，或许是由于机械泵的问题。
机械泵的真空值是没有问题的，而且是要先由机械泵达到分子泵的启动背压的。

0

以渔

第3楼2016/05/09

有点怀疑是由于机械泵的泵油不干净，而导致真空抽不上去。需要先检查下泵油的液面，寿命以及颜色。

另外：在GC-MS上有碰到过因为泵油不干净而导致高真空抽不上去。

0

INRS

第4楼2016/05/09

以渔(nemo-chen) 发表:有点怀疑是由于机械泵的泵油不干净，而导致真空抽不上去。需要先检查下泵油的液面，寿命以及颜色。
另外：在GC-MS上有碰到过因为泵油不干净而导致高真空抽不上去。
这个有检查过了,不过机械泵很正常,真空度也正常,油的颜色也没有发黑,今天把所有管道清洗了一遍,再测还是一样.就是停留在6~7*10-1pa左右，哎～

0

hujiangtao

第5楼2016/05/17

应助达人

是机械泵的原因吗

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INRS

第6楼2016/05/17

后来发现原因了，而且是个很低级的错误，说出来都有点不好意思，其实是真空规太脏了。后来放酒精里用超声波清洗了下量测头，真空值才恢复正常。
hujiangtao(hujiangtao) 发表:是机械泵的原因吗

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吕归尘

第7楼2020/07/09

真空规在哪个地方啊，拆下来清洗麻烦吗

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weiqing

第8楼2020/07/09

应助达人

逐个因素排查，找到原因解决了就好，加油！

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seafling

第9楼2020/07/18

真空规不是一般检测人员能拆的。

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