ICP-MS
gz07apple
第1楼2016/11/03
VPD配安捷伦7900半导体型
wolfly2007
第3楼2016/11/04
ICP-MS各家都有测多晶硅的模块,应该是都能满足,不过价格较普通的要高,无非就是那几大家在做ICP-MS,thermo,PE,耶拿等等
第4楼2016/11/04
楼上在瞎扯,人家要测得是wafer表面杂质金属,跟多晶硅有个毛关系。。。
浪花泉
第5楼2017/05/05
一楼正解!
siri
第6楼2017/05/08
冷等离子体测电子材料
光哥
第7楼2017/05/08
多晶硅的表金属、体金属测试,与wafer表面金属测试方法上差得很远。这位仁兄应该是没接触过这个吧顺便放一篇文章供参考
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