ICP-MS
timstoicpms
第1楼2016/12/09
机械泵在有 点火模式（ignition）与待机模式（standby）的工作负荷是不一样的，所以转速不一样。
光哥
第2楼2016/12/12
不是这种简单的加减法，即便是相同800Hz的“roughing pump speed”，有些东西也是不一样的。如果你看得到参数的话，明显的Plasma On条件下 分子涡轮泵的电流要大于Plasma Off条件下分子涡轮泵的电流的
wnnzl
第3楼2016/12/14
当点火时，真空会下降，所以涡轮泵转速提高，维持真空度
提丢
第4楼2017/06/08
为什么我的roughing pump speed在待机下就是1400，以前都是1800的，这次换了泵油之后就变成这样了
abcpgf
第5楼2017/06/08
原来如此。
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