【求助】掠角衍射问题

掠入射角具体要多少合适，这要具体情况具体分析，我得仪器掠入射时在0.5到1度之间，膜厚的话，角度可以大一点，膜薄，角度要小一点，因为角度太大会采集到膜下面基底的信息。因此主要探测不到薄膜下面底材，2度也是可以的，而且角度能大就尽量大，这样强度就高。以上仅是个人理解。

能具体说说掠角衍射么？用什么仪器？怎么设置？谢谢！

感谢二位的回复，这几天我看了丛丘滋编写的《多晶二维X射线衍射》，有所启发，基本已经有所理解了，x射线在材料内仍满足指数衰减规律，根据线吸收系数可以估算穿透深度。

我也是刚刚接触XRD，掠射角衍射主要是用来研究薄膜材料的，只要仪器配置了薄膜附件就可以了，我的是帕纳科的仪器，配的有Hybrid 和collimator,就是产生和接受单色平行光。