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【求助】高纯硅(4N以上)中杂质元素含量用什么方法测,国内什么地方可以测

  • acacia2000
    2006/11/27
    • 私聊

元素分析综合讨论

  • 如题,求方法及测试地点
相关话题
    +关注 私聊

  • router

    第1楼2006/11/27

    用icp可能是最好的选择，用HF挥发掉SI后，赶掉多余的HF，可直接定容检测

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    +关注 私聊

  • steinbeck

    第2楼2006/12/08

    北京的国家有色院/有色金属和电子材料检测中心可以做，我们在那里做过5个9的单晶硅，当时做了十来个元素。
    ICP-MS应该可以做，看到过分析方法标准，消解方法就是HF挥发硅。

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