对于新一代SEM能谱 大家有什么预期？

应助达人

个人感觉能谱仪以前的发展集中在窗口面积增大和液氮制冷变为电制冷

2个改进目标：采集速度的提升，和空间分辨率的提升。
为了前者，提高SDD晶体面积、以及细管、前端扁平化、平插、多晶体等各种让SDD晶体更靠近样品的措施 最终目的是提高固体角。
为了后者，要为低能端进行优化，提高窗口材料在低能端的透射率，比如氮化硅薄窗及无窗。

此外，还有能量分辨率的提升。能量分辨率的提升意味着噪音的降低，对低能端特有意义。Mn峰分辨率每提升一点，意味着噪音的明显下降，C峰分辨率都会提升一大步，低能端谱峰分离度以及峰背壁改进明显。 期待150mm2 Mn峰能量分辨率也能达到121eV。