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(求助)场发射Hitachi-800扫描电镜调试

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 这一段时间开始使用扫描电镜,看到那么多的调整参数,不知先从那个下手,总是碰到聚焦了老半天,背景噪声依然很大,折腾了两天,还是没有得到一张满意的图像,求助各位,能不能给出调解扫描电镜的步骤,以及各个调节参数的影响?非常感谢!
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  • arden_jiang

    第1楼2006/05/17

    熟悉Hitachi S-8820 CDsem,或许我们可以交流

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  • saintchen

    第2楼2006/05/26

    没有说明书么?也可打电话问他们工程师啊。他们有义务回答

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  • annelugel

    第3楼2006/05/31

    不管使用的是哪家的电镜,以下几步都是适用的:
    1)寻找样品,找到要观察的部分。
    2)放大,聚焦。(若是新手,建议慢慢来,倍数不要一下非常大,以免找不到合适的工作距离)。
    3)若倍数比较大,就必须调整合适的PROBE CURRENT(可能不同厂家有不同表示的方式)。
    4)注意消像散,判断方法是:在聚焦的过程中看图片是否有变形,若有变形就说明存在严重的像散。
    5)选择合适的明暗度和对比度,应为是黑白图片,所以明暗度和对比度是否合适有时对图片是否清晰会产生很大影响。
    6)若要图片清晰,应用比较慢的扫描速度保存那些倍数较大图片。
    除此之外,物镜光阑对中等每个厂家不同,我就不说了。

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  • annelugel

    第4楼2006/05/31

    再补充一句,消像散时必须不断聚焦——消像散——再聚焦……熟练后就不会那么麻烦了,基本上看着图就能判断怎么消像散,以及是否已经将像散基本消除。

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