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求助：7700x点火时功率降低，点火后反馈功率过高

ICP-MS

  • 今天点火的时候，在射频功率达到1200W后的几秒钟内，射频功率突然降低到900多W，而且明显感觉等离子体的亮度减弱，另外炬管箱右推的声音也比平时小了很多。当射频功率稳定到1550W进入分析状态后，反馈功率一直维持在70W左右。我更换了全套的进样系统，问题依旧。和工程师联系后，他推测是匹配箱有问题。各位老师对有遇过这个情况吗？求助！
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    +关注 私聊

  • timstoicpms

    第1楼2017/05/25

    联系工程师上门维护匹配箱

0
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  • 光哥

    第2楼2017/05/26

    应助工程师

    匹配箱可能挂了，大出血

0
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  • abcpgf

    第3楼2017/06/10

    应助达人

    换一个匹配箱吧，这个不便宜哟。

0
    +关注 私聊

  • dantecao

    第4楼2017/06/17

    是的，应该是是匹配箱出了点问题，但工程师建议暂时先调高RF匹配的电压用着（现在是从2V调到2.4V，反馈功率稳定在5W左右，而且和最高的3V还有距离），观察一点时间。另外，点火途中功率突然下降的问题在换了一瓶氩气后就消失了，我估计是氩气的压力问题.....

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