仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯

硅片上镀膜,膜的红外吸收测试问题

红外光谱(IR)

  • 在硅片上沉积了膜,膜无法取下,现需要测试膜的吸收,考虑到膜有反射,希望测试透过率光谱及反射率光谱来得到膜的吸收。现在试了几种方法:
    1、用傅立叶变换红外光谱测试。透过率用空白双面抛光硅片做背景,测试透过率;以金镜为背景用镀金的积分球附件测试反射率。结果有些出现反射率?透过率大于100%。
    2、用显微红外光谱仪测试。以空气为背景,测试硅片透过率T1,假设硅片对红外光不吸收,其反射率R1=1-T1;以硅片做背景,测试硅片上镀膜反射率R2,样品实际反射率R=R1*R2;以硅片做背景测试样品透过率T。样品吸收=1-T-R=1-T-(1-T1)*R2。结果也会出现反射?投射大于100%。若用显微红外测试以金镜做背景也会出现这种情况。
    各位老师帮我分析一下原因吧,还有测试基底上的膜中红外的吸收应该用什么仪器,用什么测试方法。谢谢谢谢
    +关注 私聊
  • neity

    第1楼2017/12/14

    应助达人

    个人感觉要点是要测试同一入射角度下的反射、透射率。这样才不会出现超百现象,但是很难控制。

0
    +关注 私聊
  • 天津天光光学仪器

    第2楼2017/12/20

    这个很好理解的啊,说明你的背景所使用的硅片透过率低于镀膜的硅片,背景所使用的硅片也许是厚了,也许是抛光质量差了,而镀膜的片也许增透能力太强,完全有超过背景片的可能性!

0
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...