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求助TEM做mapping的碳元素问题

贺超峰

2018/07/25

透射电镜（TEM）

求助论坛中做TEM的各位老师，前天做TEM测试mapping，一个样品拍了两个位置，差别很大，大家帮忙看看什么原因造成的，主要做C，O，Ti元素的mapping，样品是纳米片层，有点厚，用的是微珊制样，但是样品尺寸有点大，都跑到了微珊的骨架上面，第一个图扫出来的mapping图上微珊骨架上的碳膜扫出来可以理解，但是第二张骨架上基本没有，不知道怎么回事，导师对结果非常疑惑，测试老师也解释不通，特来请教大家，感谢

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小M

第1楼2018/07/25

应助达人

解释不通，微栅膜上碳元素应该很多的，但是第二张图打出来几乎没有？
第一张图显示，样品上Ti、C、O三种元素都有，而第二张图的样品上几乎全是Ti元素了，C和O几乎没有

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贺超峰

第2楼2018/07/25

是的，就是解释不通，不知道什么原因
小M(mitchell_dyzy) 发表:解释不通，微栅膜上碳元素应该很多的，但是第二张图打出来几乎没有？
第一张图显示，样品上Ti、C、O三种元素都有，而第二张图的样品上几乎全是Ti元素了，C和O几乎没有

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小偷爸爸

第3楼2018/07/25

我猜测是你的样品做的不均匀，虽然eds对于CO等元素很不准，但是还是有判断的，我个人建议用超薄碳膜做EDS，拿微柵做相应的形貌。而且厚度也是个问题，当厚度不均的时候，会出现这样的情况。

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