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FEI的TECNAI TEM和HITACHI的HD2700 STEM哪个更适合半导体硅基外延样品分析？

透射电镜（TEM）

  • 主要用于半导体芯片的样品分析，为40 nm工艺，需要经常做纳米尺度的FA分析，需要HRTEM和元素mapping，请问FEI的TECNAI TEM和HITACHI的HD2700 STEM哪个更合适？JEOL的呢，听说其很便宜？
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  • 洪星二锅头

    第1楼2018/08/16

    场发射透射电镜应该都可以，mapping和能谱有关，hrtem和电镜的分辨率有关，关注TEM、STEM的分辨率，HAAD、ADF、ABFF等探头尽量多配上就行了

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