X射线衍射仪(XRD)
水清鱼读月
第1楼2018/10/18
试一试掠入射的光路,最好寻找带有专门薄膜附件的仪器,这个各大品牌都有的,但是你所用的机器不一定会配置这个。掠入射指的是X光以小角度(比如2deg或者0.5deg)等等入射样品,然后这个角度是固定不动的,而检测器大角度旋转收集衍射信号,选择合适的角度可以做到完全屏蔽基底的信号,这样来自薄膜的信号信噪比会比较好。测试过程中注意两点:1. 薄膜本身结晶不一定好,如果第一次做不出来,试一试退火后重新测试;2. 薄膜薄膜,所以样品量肯定会比较少,扫描速度不要过快,否则小峰基本就拉平不见了。
iangie
第2楼2018/10/27
如果你的TiAlN是晶相, 1.5微米厚是完全可以做出来的. 用Goebel Mirror平行光束, Omega入射角2度, 慢扫肯定能出峰.问题是你的薄膜是不是完全盖住了基体? 如果在X光的照射面积内只有部分TiAlN薄膜, 那当然X光就直接打到基体上了哦....
Insp_62ec3592
第3楼2018/10/29
请问我如何可以知道薄膜是不是完全盖住了基体?如果没有的话,是不是只能重新制膜了?
第4楼2018/10/30
薄膜是你自己制备的,有没有涂均匀只有你自己知道。实在不知道的话,用光学显微镜或者SEM看一下。
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