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出售二手日立高新SU-1510扫描电镜
LiangGong
2019/03/05
私聊
综合仪器采购
有需要的老师可站内联系。谢谢
参数指标
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技术参数 :
二次电子分辨率 3.0nm(高真空,30kV)
背散射电子分辨率 4.0nm(低真空:60Pa,30kV)
倍率 5 ~ 300,000倍
加速电压 0.3~30 kV
样品台 X 0~80mmY 0~40mmZ 5~50mmT -20~80mmR 360°
样平台控制 手动(可选:2轴马达)
最大载入样品尺寸 直径:153mm
最大观察范围 直径:126mm(XYR并用)
最大样品高度 60mm (WD=15mm)
低真空范围 6-270Pa(从菜单设定)
灯丝 预对中钨灯丝
物镜光阑 4孔可变光阑
枪偏压 固定比例偏压、手动偏压、自动4偏压
检测器 二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析位置 WD=15mm,TOA=35°
真空系统 分子泵1台,机械泵1台
安全措施 停电,漏电,自动保护
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