想检测晶圆缺陷，分辨率要在200nm一下，有什么光学显微镜推荐呢，谢谢

200nm的颗粒在1000倍以上可以用光学显微镜观察的到，建议用油目镜镜头在1000倍以上观察

看200nm建议配到100倍半复消色差物镜，然后加变倍器到2.5或者4，然后使用高级暗场观察效果最好

用专业的检查显微镜，有L200和L300，如果是大尺寸晶圆8寸的用L200，12寸的用L300，如果尺寸还比较小的话，可以用普通金相显微镜加上Wafer holder，也可以实现！可以随时联系我，半导体行业我们用户很多！Mr吴，18526851072！

不好意思，没看清你的要求，如果要实现200nm的分辨率，普通的光学显微镜是实现不了的，需要上别的设备
1，可以上台式扫描电镜，2，原子力探针显微镜 3. 共聚焦显微镜 4，光学轮廓扫描仪，
原子力最贵，探针也是耗材，属于接触式的，其他几种是光学非接触式的。具体需要测试或者沟通一下，，请联系我，18526851072