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求助英文文献一篇

  • bairuizheng
    2019/07/24
    • 私聊

文献检索－互助

  • 赏
  • 悬赏金额:10积分状态:已解决
  • 【序号】：1
    【作者】：许伟才 黄玮 杨旺
    【题名】：投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿
    【期刊】：《光学学报》
    【年、卷、期、起止页码】：2011年 11期
    【全文链接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-GXXB201111045.htm
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