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扫描电镜测长问题讨论

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 用扫描电镜测量 关键尺寸( CD)是半导体生产制造工业中重要的监控手段，CD量测的准确性也就至关重要。不同工作距离WD下测量同一样品CD，会因为WD的不同产生差异，究其原因是因为Focus current产生变化而导致焦距发生变化。如何从理论上去解释这现象或者说从光学成像原理解释呢？
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  • fengyonghe

    第1楼2019/08/23

    显示的放大倍数不准确，要矫正。

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  • SEMDriver

    第2楼2019/08/24

    对，如何从原理上解释呢

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:显示的放大倍数不准确，要矫正。

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  • fengyonghe

    第3楼2019/08/24

    就是调整问题，比如1微米在图片上的长度可调大或调小。由安装时工程师调整。

    SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:对，如何从原理上解释呢

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  • SEMDriver

    第4楼2019/08/25

    对的，我们预先在一个焦距下进行校准，然而焦距变化了，为什么就不准了呢？

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:就是调整问题，比如1微米在图片上的长度可调大或调小。由安装时工程师调整。

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  • SEMDriver

    第5楼2019/08/27

    焦距变大了，如果电子束不是垂直而是倾斜照射在样品上，那么显示的放大倍率实际上是变大了，如果去量测距离，会让量测的距离偏小，对吗？我们这边实际上是：当聚焦电流变小时，即焦距变大，量测的距离值会偏大～这是为什么呢？

    SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:对的，我们预先在一个焦距下进行校准，然而焦距变化了，为什么就不准了呢？

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