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【原创】扫描电镜样品上方的探头是什么?

  • semoperator
    2007/01/30
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 做扫描电镜时,样品室里在样品正上方的那个东西是什么,是探头吗?有没有图片可以让俺们看看,是啥材料做的?

    为什么做扫描时要保证样品表面和它正上方的那个东西有一个距离,这个距离怎么定?要是不断缩小这个距离会有什么结果?

    刚入门,请多指教。
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  • 常怀千岁忧

    第1楼2007/01/30

    那个是BSE探头,最常见的是半导体材料的,另外有YAG,Robinson等其他类型.照片供参考,手机拍的,不太清楚,见谅.
    BSED质脆易碎,如果将样品持续升高到足够高就可以有机会更换一个新的探头了,呵呵

    semoperator 发表:做扫描电镜时,样品室里在样品正上方的那个东西是什么,是探头吗?有没有图片可以让俺们看看,是啥材料做的?

    为什么做扫描时要保证样品表面和它正上方的那个东西有一个距离,这个距离怎么定?要是不断缩小这个距离会有什么结果?

    刚入门,请多指教。

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  • semoperator

    第2楼2007/01/30

    [div][/div]
    那个是BSE探头,最常见的是半导体材料的,另外有YAG,Robinson等其他类型.照片供参考,手机拍的,不太清楚,见谅.
    BSED质脆易碎,如果将样品持续升高到足够高就可以有机会更换一个新的探头了,呵呵
    [

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  • 常怀千岁忧

    第3楼2007/01/30

    [quote]原文由 semoperator 发表:多谢了,那二次电子探头在哪里安放,这些东西是不是经常坏,是不是很容易就拆下来,一般换一个要多少钱?

    不谢.二次电子探头一般安装在样品仓侧面靠上方处.正常使用的话这些探头寿命都是相当长的.拆卸很容易.价格不清楚,肯定不会太便宜.呵呵

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  • semoperator

    第4楼2007/01/30

    我有一个很弱的问题一直困扰我,就是怎么用二次电子就能看到表面形貌了呢,通常用可见光照明的话,光沿直线传播,人眼可以看到图像。可是在显微镜下,出来的二次电子应该是随机到处跑的,感觉就是电子离开样品表面后就乱了,被接收后也应该是随机分布的,可为什么就能和图像对应起来呢?
    还有就是背散射电子也有类似的问题困扰我,请高手给我补补课?

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  • 共工

    第5楼2007/01/31

    确实很弱,建议参看ANASPEC每周一问二,电镜经典话题,形貌和成分的帖子。

    semoperator 发表:我有一个很弱的问题一直困扰我,就是怎么用二次电子就能看到表面形貌了呢,通常用可见光照明的话,光沿直线传播,人眼可以看到图像。可是在显微镜下,出来的二次电子应该是随机到处跑的,感觉就是电子离开样品表面后就乱了,被接收后也应该是随机分布的,可为什么就能和图像对应起来呢?
    还有就是背散射电子也有类似的问题困扰我,请高手给我补补课?

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  • semoperator

    第6楼2007/02/01

    我已拜读您提到的帖子,可是还是没有找到一个明确的解释,我实际上是问扫描电境的成像原理,到底和光学成像有什么不同?

    例如样品表面有A,B, C,D四个形貌不同的点,当二次电子从这些个地方激发出来后,它们是怎样的运动行为并最终成像的,是不是可以理解为二次电子是一个统计的概念,并不是所有的例如A点出来的二次电子都会被搜集起来并对应成像,而是绝大多数的A点出来的二次电子参与光电转换,最后成像的?

    我最不理解的是为什么A点出来的二次电子最终能反应A点的形貌,而不是B点,或C点,总感觉电子激发出来后就混乱了,无论是从5-10nm或其它什么地方出来。 难道它们是遵循一定的路径运动的,那是什么让这些二次电子遵循了固定的运动轨迹,能量还是其它的什么?



    确实很弱,建议参看ANASPEC每周一问二,电镜经典话题,形貌和成分的帖子。[/quote]

    semoperator 发表:我有一个很弱的问题一直困扰我,就是怎么用二次电子就能看到表面形貌了呢,通常用可见光照明的话,光沿直线传播,人眼可以看到图像。可是在显微镜下,出来的二次电子应该是随机到处跑的,感觉就是电子离开样品表面后就乱了,被接收后也应该是随机分布的,可为什么就能和图像对应起来呢?
    还有就是背散射电子也有类似的问题困扰我,请高手给我补补课?

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  • 常怀千岁忧

    第7楼2007/02/01

    从理论上讲,当电子束扫描在A点时,探头接受到的二次电子全部来源于A点,而A点激发出的二次电子部分被探头接受,部分接地,这个过程依照电子的运动速度在极其短暂的时间内完成。因此,当电子束扫描到B点时,探头接收的是来自B点的信号,不会有A点的二次电子依然在四处游荡。让二次电子遵循某一方向运动的是加在二次电子探头前端的吸引电压。
    有些辞不达意,希望已经表达清楚了,呵呵。
    [quote]原文由 semoperator 发表:我已拜读您提到的帖子,可是还是没有找到一个明确的解释,我实际上是问扫描电境的成像原理,到底和光学成像有什么不同?

    例如样品表面有A,B, C,D四个形貌不同的点,当二次电子从这些个地方激发出来后,它们是怎样的运动行为并最终成像的,是不是可以理解为二次电子是一个统计的概念,并不是所有的例如A点出来的二次电子都会被搜集起来并对应成像,而是绝大多数的A点出来的二次电子参与光电转换,最后成像的?

    我最不理解的是为什么A点出来的二次电子最终能反应A点的形貌,而不是B点,或C点,总感觉电子激发出来后就混乱了,无论是从5-10nm或其它什么地方出来。 难道它们是遵循一定的路径运动的,那是什么让这些二次电子遵循了固定的运动轨迹,能量还是其它的什么?

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    第8楼2007/02/02

    [div][/div]
    您其实讲的很清楚了,我同意您的观念。
    二次电子检测器的电子收集是遵循时间轴的规律的,电子束的扫描循环时间,二次电子被激发的时间,光电转换的时间,光子传输的时间,以及电子信号被放大,最终被用来调制 模拟 阴极射线管 CRT的8KV 到12KV的扫描载频信号,完成了最终的成像,所以应该没有混乱的问题。
    以上的模拟式的电镜成像,现代数字式的仍然遵循这个原理,EVERHART THORLEY 先生发明了 这个我们称之为二次电子检测器的 ET式光电检测器。
    关于二次电子如何到达光电转换点的问题,我们在检测器的闪烁体部位施加正电压 到400V左右,激发静电场,以达到吸引二次电子的目的。

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  • semoperator

    第9楼2007/02/02

    谢谢。

    电子束和成像阴极是否同时扫描?

    之所以电子出来后不混乱,是否认为电子的运动速度快,其被接收的速度远大于电子束扫描的速度,从而各点不会干扰?

    但一般会有百分之多少的电子参与了成像过程?

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  • kingming

    第10楼2007/02/07

    看了各位大虾的讨论,获益匪浅,我觉得可以用逐点扫描,逐点成像来概括,扫描动作由扫描驱动器来驱动,保证两者完全同步。

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