测试版面
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第1楼2019/12/29
1.关机后,控制气路开闭流量的EPC关闭,因此没有载气通过GC。对于7890A是这样的,其他GC不一定。 2. 当然可以。在几个VENT处,可以试着用检漏液检漏。但是如果漏气,漏点会在EPC前端的可能性更高。3. 对,这样可以检查EPC及前端的漏气。
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